高分解能走査型電子顕微鏡(SEM)

高分解高分解能走査型電子顕微鏡

メーカー JOEL
主な用途 波長の短い電子線を用いて高い分解能(ナノメートルスケール)で像を得ることが出来る顕微鏡。SEMが検出する二次電子は電子が試料にあたる角度によって強度が変わるため、試料表面の凹凸を 敏感に観察することが出来る
スペック a.ジェントルビームモード(GB,GBSH)
資料に逆バイアスを印加することで、低加速で電子線を照射した際の分解能を向上させることが出来る。低 加速で観察することで、資料内部の情報を含まない最表面のみの観察や、資料の帯電を防ぎつつ観察が可能になるという利点がある。本装置では、最大で-5 kVの逆バイアスを印加可能
b. エネルギー分散形X線分析装置(EDS)
電子線照射により発生した特性X線を解析することにより元素分析をすることが出来る。元素番号5(元素記号:B)から元素番号92(元素記号:U)の範囲の元素が検出可能であり、解析結果をマッピングすることで元素の配置を視覚的に把握することが出来るi. 最大試料サイズ10mm
ii. 試料移動範囲 X方向:70mm
iii.   Y方向:50mm
iv. Z移動量2.0mm~41mm

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