 全自動水平型多目的X線回折装置 |
①外観図
②ゴニオメーター
(正確な軸立て可能で面内・面外いずれの測定にも対応)
③RxRyステージ
(面内・面外の回折測定で使用するステージ)
④GIWAXSステージ
(GIWAXS測定時に使用するステージ)
⑤温度変調ステージ
(～1100℃まで可変のステージ)
◆注意事項◆
新領域創成科学研究科RI部局講習会の受講が必要
| メーカー | Rigaku |
| 主な用途 | サンプルの膜構造や結晶構造の評価を行う。Out-of-Plane・In-Plane 測定共に対応している。各測定に最適な光学系の選択や光学調整、サンプル情報に合わせた 試料位置調整や測定条件を自動で設定する。 |
| スペック | a. 9 kW X線源／Cuターゲット b. 集光・平行ビームが切り替え可能 c. 薄膜サンプルの測定が可能 |